Tomografie rozhraní tenkých vrstev pomocí náhodného pikosekundového sonaru
|
ID projektu: | GA23-08020S | Poskytovatel: | Grantová agentura České republiky | Období: | 01.01.2023 - 31.12.2025 | Hlavní řešitel: | RNDr. Petra Veselá Ph.D. | Spoluřešitelé | P. Mokrý, J. Budasz, M. Hlubučková, M. Guesmi, K. Žídek, K. Hlinomaz, V. Kanclíř | Cíle projektu: Zanořené rozhraní mezi dvěma pevnými látkami je specifický element s celou řadou vlastností odlišných od přiléhajících materiálů. Zanořená rozhraní je velmi obtížné zkoumat nedestruktivně, což se projevuje omezenými znalostmi o těchto rozhraních v celé řadě oborů, včetně depozice tenkých vrstev pro optické pokrytí. Abychom porozuměli procesu vzniku rozhraní, vyvineme v rámci projektu nový přístup k ultrarychlé akustice, který bude založený na náhodných pikosekundových pulsech a výpočetní rekonstrukci signálu. To nám umožní s vysokou přesností získat akustickou odezvu systému a navázat ji na morfologii rozhraní. Využijeme výpočetní ultrarychlou akustiku ke zkoumání vzniku rozhraní ve standardních systémech (rozhraní SiO2-Si) a vzorcích s cíleně tvarovaným průběhem rozhraní. Za použití získaných znalostí, budeme zkoumat zásadní procesy (např. oxidace, termální difuse, dopady iontů), které spoluurčují vlastnosti vzniklých rozhraní v tenkých vrstvách (např. SiO2-Si3N4, SiO2-Ta2O5). | |